Parametric curvilinear OPC using B-splines data format

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标题	Parametric curvilinear OPC using B-splines data format
网址	https://doi.org/10.1117/12.3092827
DOI	10.1117/12.3092827 doi
其它	期刊：Ninth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2025) 作者：Yuhang Wang; Wenhao Ding; Shuya Deng; Peixian Zheng; Jun Cheng; et al 出版日期：2025-12-04
求助人	健忘的从灵在 2026-07-27 16:18:50 发布自广东，悬赏 20 积分
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