Wafer-scale high- k SrTiO3 dielectrics with rational barrier-layer design for low leakage and high charge density

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标题	Wafer-scale high- k SrTiO3 dielectrics with rational barrier-layer design for low leakage and high charge density
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0005435
DOI	10.1116/6.0005435 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Majid Mohseni; Shivasheesh Varshney; Seung Gyo Jeong; Amber Walton; C. Daniel Frisbie; et al 出版日期：2026-05-28
求助人	博弈春秋在 2026-07-01 21:19:18 发布自北京，悬赏 10 积分
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