标题 |
![]() 大功率脉冲磁控溅射同步偏压沉积TiN的力学性能
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
锡
偏压
溅射沉积
离子
分析化学(期刊)
涂层
残余应力
腔磁控管
复合材料
溅射
基质(水族馆)
等离子体
薄膜
冶金
纳米技术
电压
化学
电气工程
工程类
有机化学
色谱法
海洋学
物理
量子力学
地质学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Surface and Coatings Technology 作者:Jian-Fu Tang; Shi‐Yu Huang; Ja‐Hon Lin; Fu-Chi Yang; Chi-Lung Chang 出版日期:2022-02-05 |
求助人 |
holly
在
2025-07-02 09:07:40 发布,悬赏 10 积分
|
下载 | 暂无链接,等待应助者上传 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|