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RF magnetron sputtering of Ga2O3 thin films: Analysis of thermal annealing induced tuning of structural, optical characteristics, and energy band …
Ga2O3薄膜的射频磁控溅射:热退火诱导的结构、光学特性和能带调谐分析……
相关领域
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DOI
10.1016/j.mssp.2024.108243 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Dariskhem Pyngrope; Mandira Biswas; Sanjay Kumar; Shubhankar Majumdar; Ankush Bag
出版日期:2024-05-01
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