A systematic investigation and statistical analysis of thermal Atomic Layer Deposition (ALD) process parameters on TiO2 thin film deposition rate using designed experiments - 科研通

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标题	A systematic investigation and statistical analysis of thermal Atomic Layer Deposition (ALD) process parameters on TiO2 thin film deposition rate using designed experiments 利用设计实验对热原子层沉积（ALD）工艺参数对TiO2薄膜沉积速率的影响进行了系统研究和统计分析相关领域原子层沉积沉积（地质）材料科学图层（电子）薄膜热的过程（计算）逐层化学工程分析化学（期刊）纳米技术化学计算机科学热力学物理工程类环境化学地质学操作系统古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.ces.2025.121671
DOI	10.1016/j.ces.2025.121671 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Science 作者：Dongqing Pan 出版日期：2025-04-01
求助人	Cherry 在 2025-05-06 18:22:59 发布自湖北，悬赏 10 积分
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