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 Progress in metal organic cluster EUV photoresists 金属有机团簇EUV光致抗蚀剂的研究进展
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Kazunori Sakai; Hong Xu; Vasiliki Kosma; Emmanuel P. Giannelis; Christopher K. Ober 出版日期：2018-11-01 |
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