Balancing sensitivity and resolution by feedback regulation of free radicals from Sn-C bonds in tin-oxygen clusters EBL photoresist

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标题	Balancing sensitivity and resolution by feedback regulation of free radicals from Sn-C bonds in tin-oxygen clusters EBL photoresist 通过反馈调节锡氧团簇EBL光刻胶中Sn-C键自由基平衡灵敏度和分辨率相关领域光刻胶材料科学锡激进的灵敏度（控制系统）氧气光化学纳米技术光电子学冶金电子工程有机化学化学工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1007/s40843-024-3062-y
DOI	10.1007/s40843-024-3062-y doi
其它	期刊：Science China. Materials 作者：Hao Chen; Xinyan Huang; Yingdong Zhao; Jun Zhao; Pengzhong Chen; et al 出版日期：2024-08-22
求助人	wonderingria 在 2025-04-29 16:09:12 发布自上海，悬赏 10 积分
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