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 Inhibition of cobalt-titanium galvanic corrosion in post-CMP cleaning: Experimental and theoretical studies 化学机械抛光后清洁中钴钛电偶腐蚀的抑制：实验和理论研究
相关领域
钴
电偶腐蚀
原电池
腐蚀
钛
冶金
材料科学
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| 其它 |
期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Fangyuan Wang; Jinbo Ji; Shihao Zhang; Baimei Tan; Xinyu Han; et al 出版日期：2024-12-01 |
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