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Inhibition of cobalt-titanium galvanic corrosion in post-CMP cleaning: Experimental and theoretical studies
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作者
Fangyuan Wang,
Jinbo Ji,
Shihao Zhang,
Baimei Tan,
Xinyu Han,
Renhao Liu,
Xinyu Zhao,
Jiadong Zhao
出处
期刊：
Materials Chemistry and Physics
[Elsevier BV]
日期：2024-12-01
卷期号：: 130293-130293
标识
DOI：10.1016/j.matchemphys.2024.130293
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