Handbook of sputter deposition technology

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标题	[高分] 书籍 Handbook of sputter deposition technology 溅射沉积技术手册相关领域溅射微电子材料科学工程物理溅射沉积硅沉积（地质）钻石光电子学纳米技术冶金工程类薄膜地质学古生物学沉积物
网址	https://openlibrary.org/books/OL1869359M/Handbook_of_sputter... AI链接 openlibrary.org
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：作者：K. Wasa; Satoshi Hayakawa 出版日期：1992-01-01
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