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  A Study on Greenhouse Gas (PFCs) Reduction in Plasma Scrubbers to Realize Carbon Neutrality of Semiconductors and Displays 等离子体洗涤器减少温室气体（PFCs）以实现半导体和显示器碳中和的研究
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期刊：Atmosphere 作者：Bong-Jae Lee; Yujin Hwang; Dong Ki Jo; Jongmoon Jeong 出版日期：2023-07-28 |
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