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 Structure, properties and application of HfO2-based piezoelectric films HfO2基压电薄膜的结构、性能及应用
相关领域
材料科学
压电
铁电性
金属
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工程类
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期刊：Nanoscale 作者：Yong Huang; Wenbin Tang; Xiao Xu; Shicheng Ding; Xinhua Xu; et al 出版日期：2025-01-01 |
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