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 The effect of magnetron sputtering parameters on the properties of TaZrN coatings: simulation and experiment 磁控溅射参数对TaZrN涂层性能的影响：模拟与实验
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Alireza Farhadizadeh; Saeed Ghasemi; P. Nurpour; M. Hamdi; Hamid Ghomi 出版日期：2022-04-01 |
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