Design of 6H-SiC High Temperature Pressure Sensor Chip

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标题	Design of 6H-SiC High Temperature Pressure Sensor Chip 相关领域压阻效应材料科学压力传感器振膜（声学）条状物蚀刻（微加工） GSM演进的增强数据速率微电子机械系统电容感应灵敏度（控制系统）复合材料光电子学炸薯条压力（语言学）声学机械工程电子工程电气工程计算机科学工程类振动语言学物理图层（电子）哲学电信
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.562-565.166
DOI	10.4028/www.scientific.net/kem.562-565.166 doi
其它	期刊：Key engineering materials 作者：Min Xi; Fei Tang; Xiao Hao Wang 出版日期：2013-07-01
求助人	linkai 在 2025-11-11 17:22:23 发布自福建，悬赏 30 积分
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