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 Effect of deposition pressure on the properties of amorphous carbon films by hot-filament chemical vapor deposition 沉积压力对热丝化学气相沉积非晶碳薄膜性能的影响
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纳米晶材料
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期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者：Zihao Zhai; Honglie Shen; Jieyi Chen; Xuemei Li 出版日期：2019-04-23 |
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