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Evidence of micrometer-scale ion damage in (010), (110), and (011) β-Ga2O3 epitaxial layers 相关领域
材料科学
二极管
外延
溅射
肖特基二极管
蚀刻(微加工)
光电子学
异质结
肖特基势垒
离子
晶体缺陷
分析化学(期刊)
感应耦合等离子体
降级(电信)
反应离子刻蚀
溅射沉积
腐蚀坑密度
等离子体刻蚀
硅
图层(电子)
薄膜
耗尽区
宽禁带半导体
载流子
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Carl Peterson; Chinmoy Nath Saha; Yizheng Liu; James S. Speck; Sriram Krishnamoorthy 出版日期:2026-09-04 |
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