Subatmospheric chemical vapor deposition ozone/TEOS process for SiO2 trench filling

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标题	Subatmospheric chemical vapor deposition ozone/TEOS process for SiO2 trench filling
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/13/4/1888/11606971/...
DOI	10.1116/1.587830 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：I. A. Shareef; G. W. Rubloff; M. Anderle; W. N. Gill; J. Cotte; D. H. Kim 出版日期：2002-07-27
求助人	hh 在 2026-06-03 17:34:42 发布自北京，悬赏 10 积分
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