Stabilizing negative capacitance in HZO-based MFIS capacitors via SiO2 interface optimization under low thermal budget

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标题	Stabilizing negative capacitance in HZO-based MFIS capacitors via SiO2 interface optimization under low thermal budget
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.166895
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.166895 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Gahong Lee; Junsun Son; Taewoong Kim; Jimin Kim; Jang-Kun Song; Junsin Yi 出版日期：2026
求助人	食杂砸在 2026-06-03 11:17:53 发布自山东，悬赏 15 积分
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