The era of silicon MEMS microphone and look beyond

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标题	The era of silicon MEMS microphone and look beyond
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7168353/7180834/07180939...
DOI	10.1109/transducers.2015.7180939 doi
其它	期刊：2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS) 作者：Zhe Wang; Quanbo Zou; Qinglin Song; Jifang Tao 出版日期：2015-08-13
求助人	dkl 在 2026-03-19 15:41:28 发布自湖南，悬赏 10 积分
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