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 Structure and composition of TixAl1−xN thin films sputter deposited using a composite metallic target 复合金属靶溅射沉积TixAl1-xN薄膜的结构和成分
相关领域
材料科学
溅射
锡
薄膜
光谱学
分析化学（期刊）
溅射沉积
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合金
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金属
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Jean‐Yves Rauch; Christophe Rousselot; Nicolas Martin 出版日期：2002-08-01 |
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