发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Innovations in Polyurethane Pads Used in Chemical-Mechanical Planarization: A Perspective and Future Directions
用于化学机械平坦化的聚氨酯垫的创新：前景和未来方向
相关领域
化学机械平面化 材料科学 透视图（图形） 聚氨酯 纳米技术 工程物理 工程伦理学 复合材料 工程类 计算机科学 人工智能 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/add808
DOI
10.1149/2162-8777/add808 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Zinnat Morsada; Harini Bhuvaneswari Gunasekaran; Nikunjkumar Visaveliya; Devon A. Shipp
出版日期：2025-05-13
求助人
高慕尧 在 2025-09-16 22:09:19 发布自广东，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Chemical and Mechanical Properties of Cu Surface Reaction Layers in Cu-CMP to Improve Planarization
  2. Impact of PAD Micro Contact Size and Distribution on the Planarization in CMP
  3. Post-chemical-mechanical planarization cleaning application in metallization
  4. Use of Chemical Mechanical Polishing for Planarization of GaAs Integrated Circuits
  5. 0.35μm CMOS Technology with Chemical Mechanical Polishing for Three Metallization Levels Planarizat...
  6. Study of the Chemical-Mechanical Global Planarization of Low-k Dielectric in ULSI
  7. DETERMINING QUALITY REQUIREMENTS AT THE UNIVERSITIES TO IMPROVE THE QUALITY OF EDUCATION
  8. Advanced chemical mechanical planarization (CMP) process for copper interconnects
  9. Chemical Mechanical Polishing (CMP) 공정을 이용한 Mutilevel Metal 구조의 광역 평탄화에 관한 연구
  10. <title>Planarization using chemical mechanical planarization (CMP) on a 16-megabit SRAM with quadrup...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

    当前有 1 位研友正在围观本求助： 高慕尧 高慕尧

  • 11小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    22:09:21 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    22:09:19 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    22:09:19 已向机器人发送请求

  • 11小时前

    高慕尧 高慕尧 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
jie酱拌面的应助被222采纳，获得10
刚刚
虚幻心锁发布了新的文献求助30
刚刚
TOWER完成签到 ，获得积分10
刚刚
清晾油完成签到，获得积分10
1秒前
Tina完成签到，获得积分10
2秒前
夏天完成签到，获得积分10
2秒前
大力完成签到 ，获得积分10
2秒前
DUDU完成签到 ，获得积分10
2秒前
May完成签到，获得积分10
2秒前
natuki完成签到，获得积分10
2秒前
不想干活的应助被AAA采纳，获得10
2秒前
大方的云朵完成签到，获得积分20
3秒前
3秒前
波粒二象性完成签到，获得积分10
4秒前
以前完成签到，获得积分20
4秒前
昵称发布了新的文献求助10
4秒前
yahaha发布了新的文献求助20
4秒前
核桃发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
量子星尘发布了新的文献求助50
5秒前
QYN完成签到，获得积分10
5秒前
hsa_ID发布了新的文献求助10
5秒前
李健的应助被清晾油采纳，获得10
6秒前
hahhhah完成签到 ，获得积分10
6秒前
夏天发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
222完成签到，获得积分10
7秒前
7秒前
冷傲书雪完成签到 ，获得积分10
7秒前
李鑫完成签到，获得积分10
8秒前
及禾完成签到，获得积分10
8秒前
8秒前
8秒前
wrzymh发布了新的文献求助10
9秒前
淏瀚发布了新的文献求助10
9秒前
ERIC发布了新的文献求助30
9秒前
魏豪森发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
无奈的馒头完成签到，获得积分10
9秒前
NuLl完成签到，获得积分10
10秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Manipulating the Mouse Embryo: A Laboratory Manual, Fourth Edition 1000
Comparison of spinal anesthesia and general anesthesia in total hip and total knee arthroplasty: a meta-analysis and systematic review 500
INQUIRY-BASED PEDAGOGY TO SUPPORT STEM LEARNING AND 21ST CENTURY SKILLS: PREPARING NEW TEACHERS TO IMPLEMENT PROJECT AND PROBLEM-BASED LEARNING 500
Writing to the Rhythm of Labor Cultural Politics of the Chinese Revolution, 1942–1976 300
Lightning Wires: The Telegraph and China's Technological Modernization, 1860-1890 250
Psychology for Teachers 220
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 催化作用 遗传学 冶金 电极 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4584034
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4001247
关于积分的说明 12385233
捐赠科研通 3676951
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2026434
邀请新用户注册赠送积分活动 1060113
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 946787
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通