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![]() 对靶溅射Al/n-NC FeSi2/p-Si/Pd异质结构的反向偏压相关阻抗和介电性能
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Nattakorn Borwornpornmetee; Rawiwan Chaleawpong; Peerasil Charoenyuenyao; Adison Nopparuchikun; Boonchoat Paosawatyanyong; et al 出版日期:2022-03-31 |
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