| 标题 |
[高分]
Pulsed DC bias effect on substrate in TiNx thin film deposition by reactive RF magnetron sputtering at room temperature 相关领域
材料科学
基质(水族馆)
溅射
溅射沉积
沉积(地质)
薄膜
腔磁控管
脉冲直流
光电子学
高功率脉冲磁控溅射
冶金
纳米技术
古生物学
海洋学
沉积物
地质学
生物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Journal of the Korean institute of surface engineering 作者:Seiki Kim 出版日期:2019-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|