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 Formation and Thermal Stability of Ti-Capped Co-silicide from Co-Ta Alloy Films on (100) Si and Polycrystalline Silicon 相关领域
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Kim Min-Joo; Hyo‐Jick Choi; Ko Dae-Hong; Ku Ja-Hum; Choi Siyoung; et al 出版日期：2002-04-01 |
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