Dissociation and product formation in NF3 radio-frequency glow discharges

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标题	Dissociation and product formation in NF3 radio-frequency glow discharges
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/67/6/2767/18631189/...
DOI	10.1063/1.345443 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：P. J. Hargis; K. E. Greenberg 出版日期：2002-07-26
求助人	雪碧在 2026-11-03 13:29:31 发布自上海，悬赏 10 积分
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