Analysis of leakage current in ScAlN thin films grown on GaN/sapphire substrates by sputtering epitaxy at various temperatures

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标题	Analysis of leakage current in ScAlN thin films grown on GaN/sapphire substrates by sputtering epitaxy at various temperatures
网址	http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/aeb45e
DOI	10.35848/1347-4065/aeb45e doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kosuke Joya; Sawaki Sato; Atsushi Kobayashi; Takuya Maeda 出版日期：2026-10-14
求助人	kuan 在 2026-10-22 14:01:06 发布自湖北，悬赏 10 积分
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