| 标题 |
  Characteristics and Mechanism of Catalyst-Referred Etching Method: Application to 4H-SiC 相关领域
化学机械平面化
抛光
材料科学
蚀刻（微加工）
催化作用
基质（水族馆）
工作（物理）
磨料
各向同性腐蚀
机制（生物学）
化学工程
雕刻
纳米技术
冶金
复合材料
机械工程
化学
图层（电子）
工程类
有机化学
地质学
哲学
认识论
海洋学
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| 网址 | |
| DOI |
10.20965/ijat.2018.p0154
doi
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| 其它 |
期刊：International Journal of Automation Technology 作者：Pho Van Bui; Y. Sano; Y. Morikawa; K. Yamauchi 出版日期：2018-03-05 |
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