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 Graphite evolution by metal induced crystallization of amorphous carbon on SiNx substrate for extreme ultraviolet pellicles 相关领域
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期刊：Carbon 作者：Hye Young Kim; Seul-Gi Kim; Yongkyung Kim; Kihun Seong; Jun-Hyeok Jeon; et al 出版日期：2025-08-18 |
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