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 Molecular beam epitaxy of AlScN on Si(111) 相关领域
材料科学
分子束外延
薄膜
硅
光电子学
成核
半最大全宽
压电
压电系数
宽禁带半导体
外延
表面粗糙度
晶体生长
氮化物
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氮化硅
半导体
表面光洁度
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光学
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矿物学
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粘着系数
金属有机气相外延
Crystal（编程语言）
X射线晶体学
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：R. Singh; N. Veeraraghavan; C. Savant; Debaditya Bhattacharya; W. Zhao; et al 出版日期：2026-03-16 |
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