Characterization of embedded membrane in corrugated silicon microphones for high-frequency resonance applications

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标题	Characterization of embedded membrane in corrugated silicon microphones for high-frequency resonance applications
网址	https://www.emerald.com/insight/content/doi/10.1108/MI-02-20...
DOI	10.1108/mi-02-2019-0010 doi
其它	期刊：Microelectronics International 作者：Rahmat Zaki Auliya; Muhamad Ramdzan Buyong; Burhanuddin Yeop Majlis; Mohd. Farhanulhakim Mohd. Razip Wee; Poh Choon Ooi 出版日期：2019-08-27
求助人	刘冲在 2026-04-23 16:15:32 发布自广东，悬赏 10 积分
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