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 Fabrication of heterogeneous LNOI photonics wafers through room temperature wafer bonding using activated Si atomic layer of LiNbO3, glass, and sapphire 相关领域
蓝宝石
材料科学
薄脆饼
制作
晶片键合
阳极连接
光电子学
无定形固体
蓝宝石上的硅
图层（电子）
铌酸锂
绝缘体上的硅
硅
纳米技术
光学
化学
激光器
有机化学
替代医学
病理
物理
医学
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期刊：Applied Surface Science 作者：Kaname Watanabe; Ryo Takigawa 出版日期：2023-02-07 |
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