Novel thin-film piezoelectric aluminum nitride rate gyroscope

已完结

文献求助详情

标题	Novel thin-film piezoelectric aluminum nitride rate gyroscope 新型薄膜压电氮化铝速率陀螺仪相关领域材料科学陀螺仪氮化物谐振器光电子学压电制作溅射电极薄膜铝微电子机械系统电子工程纳米技术图层（电子）复合材料工程类医学化学替代医学物理化学病理航空航天工程
网址	https://doi.org/10.1109/ultsym.2012.0267
DOI	10.1109/ultsym.2012.0267 doi
其它	期刊：IEEE International Ultrasonics Symposium 作者：Fabian T. Goericke; Gabriele Vigevani; Igor Izyumin; Bernhard E. Boser; Albert P. Pisano 出版日期：2012-10-01
求助人	快乐大炮在 2024-12-03 15:29:35 发布自中国，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 斯文败类的应助被怡然的代玉采纳，获得10

1秒前; 四木上传了应助文件

1秒前; NexusExplorer上传了应助文件

1秒前; 醉林完成签到，获得积分10

2秒前; 木棉完成签到，获得积分10

2秒前; 阔达代芹完成签到，获得积分10

3秒前; Loooong的应助被Rain采纳，获得10

3秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

3秒前; pcr163的应助被whatever采纳，获得100

3秒前; 文静的谷菱完成签到，获得积分10

3秒前; bmyy完成签到，获得积分10

4秒前; 我是老大的应助被Queen采纳，获得10

4秒前; 上官若男的应助被parpate采纳，获得10

5秒前; lgj发布了新的文献求助10

5秒前; 阔达的惠发布了新的文献求助10

5秒前; 大模型的应助被北林采纳，获得10

5秒前; xio完成签到，获得积分20

6秒前; Loooong的应助被平淡的茹妖采纳，获得10

6秒前; mkabak完成签到，获得积分10

6秒前; 大个的应助被惠小之采纳，获得10

7秒前; miracle0805完成签到，获得积分10

7秒前; pl完成签到，获得积分10

7秒前; 科目三上传了应助文件

7秒前; 彭于晏的应助被爱听歌的纸鹤采纳，获得10

7秒前; 丰富冰凡完成签到，获得积分10

8秒前; 8R60d8的应助被qingzhiwu采纳，获得10

9秒前; XY完成签到，获得积分10

9秒前; 北辰发布了新的文献求助10

10秒前; 吕佳完成签到，获得积分10

10秒前; FashionBoy的应助被小巧书雪采纳，获得10

10秒前; 苗条映菱完成签到，获得积分10

10秒前; Rain完成签到，获得积分20

11秒前; 时尚初之上传了应助文件

11秒前; 聪哥关闭了聪哥的文献求助

11秒前; 快乐的水杯完成签到，获得积分10

11秒前; 梦丽有人发布了新的文献求助10

12秒前; 嘿嘿完成签到，获得积分10

12秒前; Neuro_dan完成签到，获得积分0

12秒前; 心灵美鑫完成签到，获得积分10

12秒前; 杨知意完成签到，获得积分10

12秒前