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标题
Review of physicochemical-assisted nanomanufacturing processes for wide-bandgap semiconductor wafers
网址
DOI
10.1016/j.ijmachtools.2025.104321 doi
其它 期刊:International Journal of Machine Tools & Manufacture
作者:Xu Yang; Hui Deng; Yasuhisa Sano; Junji Murata; Xu Yang; et al
出版日期:2025-08-01
求助人
沛沛 在 2026-09-01 17:59:17 发布自江苏,悬赏 10 积分
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