Effect of ion-beam assisted deposition on the film stresses of TiO2 and SiO2 and stress control

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标题	Effect of ion-beam assisted deposition on the film stresses of TiO2 and SiO2 and stress control
网址	http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/46583
DOI	10.1007/s10409-012-0146-z doi
其它	期刊：Acta Mechanica Sinica 作者：Yu-Qiong Li; Hua-Qing Wang; Wu-Yu Wang; Zhinong Yu; Heshan Liu; et al 出版日期：2012-11-09
求助人	一起长大的约定在 2026-09-14 10:31:56 发布自江苏，悬赏 10 积分
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