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标题
Chip-scale pattern modification method for equalizing residual layer thickness in nanoimprint lithography
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.7567/JJAP.57.06HG03/pd...
DOI
10.7567/jjap.57.06hg03 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：S. Youn; Kenta Suzuki; H. Hiroshima
出版日期：2018-06-01
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银色飞行船 在 2026-09-14 10:21:46 发布自上海，悬赏 10 积分
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    10:21:50 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
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  • 7小时前

    银色飞行船 银色飞行船 Lv1 求助人 发起了本次求助

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