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标题
Recent advances in plasma etching for micro and nano fabrication of silicon-based materials: a review
网址
https://doi.org/10.1039/D4TC00612G
DOI
10.1039/D4TC00612G doi
其它 期刊：Journal of Materials Chemistry C
作者：Chaojiang Li; Yuxin Yang; Rui Qu; Xun Cao; Guodong Liu; et al
出版日期：2024-01-01
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畅快邪欢 在 2026-08-18 15:22:47 发布自美国，悬赏 10 积分
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