Influence of nitrogen–argon gas mixtures on reactive magnetron sputtering of hard Si–C–N films

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标题	Influence of nitrogen–argon gas mixtures on reactive magnetron sputtering of hard Si–C–N films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI	10.1016/s0257-8972(02)00328-6 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：J. Vlček; M. Kormunda; J. Cizek; V. Peřina; J. Zemek 出版日期：2002-10-01
求助人	石本松在 2026-08-23 15:56:36 发布自河北，悬赏 10 积分
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