Enhanced temperature uniformity of electrostatic chuck: ceramic surface contact ratio and backside gas pressure

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标题	Enhanced temperature uniformity of electrostatic chuck: ceramic surface contact ratio and backside gas pressure
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad394e
DOI	10.35848/1347-4065/ad394e doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Jeong Hwan Youn; Sang Jeen Hong 出版日期：2024-04-01
求助人	善良的沉鱼在 2026-07-08 22:43:26 发布自山东，悬赏 10 积分
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