| 标题 |
EUV optics at ZEISS: status, outlook, and future |
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| DOI |
10.1117/12.3010847
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| 其它 |
期刊: 作者:J. Kalden; Jens Timo Neumann; Dirk Juergens; Paul Gräupner; Wolfgang Seitz; et al 出版日期:2024-04-09 |
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(2025-6-4)