Effect of dissolved oxygen on surface oxidation and dissolution of InGaAs and its impact on AsGa, AsIn, and VAs defect generation

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标题	Effect of dissolved oxygen on surface oxidation and dissolution of InGaAs and its impact on AsGa, AsIn, and VAs defect generation
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107677
DOI	10.1016/j.mssp.2023.107677 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jinhoon Lee; Junwoo Lee; Taehyeon Kim; Taegun Park; Sangwoo Lim 出版日期：2023-06-26
求助人	jessicaw 在 2026-07-26 13:50:24 发布自江苏，悬赏 10 积分
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