Research on deep trench capacitor structure design and its effect on capacitance density and breakdown voltage

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标题	Research on deep trench capacitor structure design and its effect on capacitance density and breakdown voltage
网址	https://doi.org/10.1109/ICEPT63120.2024.10668657
DOI	10.1109/ICEPT63120.2024.10668657 doi
其它	期刊：作者：Pengsen Wang; Z.N. Lei; Chunmin Cheng; Wei Shen; Daowei Wu; et al 出版日期：2024-08-07
求助人	欧维在 2026-08-21 00:33:00 发布自江苏，悬赏 10 积分
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