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 Environmental Impact Assessment of Chemical Mechanical Planarization Consumables: Challenges, Future Needs, and Perspectives 相关领域
消耗品
持续性
环境影响评价
化学机械平面化
背景（考古学）
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期刊：ACS Sustainable Chemistry & Engineering 作者：Ravitej Venkataswamy; Lyle Trimble; Andrew G. McDonald; Douglas R. Nevers; Leticia Vazquez Bengochea; et al 出版日期：2024-07-26 |
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