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标题
Effect of 2-Mercapto-1-methylimidazole on the Dual Action of Chemical Mechanical Polishing of Cu and Ta
2-巯基-1-甲基咪唑对Cu和Ta化学机械抛光双重作用的影响
相关领域
吸附 化学机械平面化 化学 X射线光电子能谱 原电池 金属 抛光 材料科学 无机化学 化学工程 冶金 物理化学 工程类
网址
DOI
10.1021/acs.langmuir.4c03686 doi
其它 期刊:Langmuir
作者:Xuhua Chen; Ru Wang; Zhanjie Du; Zhu Yu; Zhe Liang; et al
出版日期:2024-12-18
求助人
浪漫反派 在 2025-12-12 06:24:36 发布自上海,悬赏 10 积分
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