| 标题 |
Impact of increasing EUV absorption of CAR polymers on lithographic performance |
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10.1117/12.3010961
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| 其它 |
期刊:Advances in Patterning Materials and Processes XLI 作者:Yinjie Cen; Emad Aqad; Li Cui; Suzanne M. Coley; Jong Keun Park; et al 出版日期:2024-04-09 |
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(2025-6-4)