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标题
Pulse Reverse Copper Electrodeposition in High Aspect Ratio Trenches and Vias
网址
http://dx.doi.org/10.1149/1.1838766
DOI
10.1149/1.1838766 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Alan C. West; Chin‐Chang Cheng; Brett C. Baker
出版日期：1998-09-01
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Ray 在 2026-10-24 14:12:18 发布自广西，悬赏 10 积分
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