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 Numerical ellipsometry: Artificial intelligence based real-time, in situ process control for absorbing films depositing on virtual substrates including multiple unknown layers 相关领域
人工神经网络
计算
椭圆偏振法
材料科学
计算机科学
多层感知器
薄膜
波长
基质（水族馆）
极化（电化学）
迭代和增量开发
人工智能
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过程（计算）
感知器
原位
光学涂层
计算智能
分组数据处理方法
迭代法
算法
集合（抽象数据类型）
光学
生物系统
光电子学
制作
纳米技术
纳米颗粒
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：F. K. Urban; A. Barreto 出版日期：2026-10-26 |
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