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标题
Si3N4 etch rates at various ion-incidence angles in high-density CF4, CHF3, and C2F6 plasmas
网址
http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11814-019-0449...
DOI
10.1007/s11814-019-0449-x doi
其它 期刊：Korean Journal of Chemical Engineering
作者：Jun‐Hyun Kim; Chang-Koo Kim
出版日期：2020-01-30
求助人
Double 在 2026-07-14 20:23:31 发布自江苏，悬赏 10 积分
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    科研通AI6.3 科研通AI6.3 机器人Lv12 上传了文件

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  • 3小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    20:23:35 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    20:23:32 科研通AI机器人（澳大利亚 悉尼）收到请求，开始寻找文献
    20:23:32 已向机器人发送请求

  • 3小时前

    Double Double Lv1 求助人 发起了本次求助

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