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 Oxidant-Dependent Conduction in Early-Cycle Atomic-Layer-Deposited Al 2 O 3 and Its Impact on the Dielectric Behavior of Al 2 O 3 /TiO 2 Nanolaminates 相关领域
材料科学
电介质
原子层沉积
覆盖层
电容器
微电子
纳米制造
凝聚态物理
光电子学
钙钛矿（结构）
热传导
薄膜
沉积（地质）
高-κ电介质
纳米技术
脉冲激光沉积
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纳米尺度
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半导体
电阻率和电导率
电容
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Mahesh Nepal; Tara P. Dhakal 出版日期：2025-12-08 |
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