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Enhanced Ruthenium Removal and Superior Surface Quality via Abrasive‐Free Chemical Mechanical Polishing Using Synergistic Catalysis with the H2O2/PDS/FeIII‐NTA System
相关领域
化学机械平面化 催化作用 抛光 材料科学 钌 化学工程 表面粗糙度 氧化物 纳米技术 化学 冶金 复合材料 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1002/smll.202410586
AI链接 wiley.com nih.govdoi.org
DOI
10.1002/smll.202410586 doi
其它 期刊：Small
作者：Y. B. You; Ziwei He; Jianwei Zhou; Yuhang Qi; Chong Luo
出版日期：2025-03-30
求助人
men 在 2025-11-23 19:55:31 发布自陕西，悬赏 10 积分
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