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标题
Modulation of ferroelectric properties in TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors through oxygen plasma treatment of the TiN bottom electrode
氧等离子体处理TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN电容器铁电性能的调节
相关领域
锡 电容器 材料科学 电极 铁电性 氧气 冶金 光电子学 化学 电压 电气工程 电介质 工程类 物理化学 有机化学
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S246802302...
DOI
10.1016/j.surfin.2025.107520 doi
提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致 10.2139/ssrn.5262384 Doi
其它 期刊：Surfaces and Interfaces
作者：Tung-Ming Pan; Wei-Che Weng; Jhong-Hao Wu; Fu-Chien Chiu; Jim-Long Her
出版日期：2025-08-26
求助人
珍宝 在 2025-12-25 12:35:30 发布自吉林，悬赏 10 积分
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